株式会社キーエンス
種類 (IM-7020) |
ヘッド 透過照明 可変照明ユニット・ライトプローブ ユニット搭載モデル |
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撮像素子 |
1型 660万画素 モノクロCMOS |
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ディスプレイ |
10.4型 LCDモニタ(XGA：1024×768) |
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画像測定 |
視野 |
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| 広視野測定モード | 200×200mm(4角R50) |
| 高精度測定モード | 125×125mm |
| 最小表示単位 | 0.1µm |
繰り返し精度 |
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| ステージ移動なし | 広視野測定モード：±1µm 高精度測定モード：±0.5µm |
| ステージ移動あり | 広視野測定モード：±2µm 高精度測定モード：±1.5µm |
測定精度 ±2σ |
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| 連結なし | 広視野測定モード：±5µm*1 高精度測定モード：±2µm*2 |
| 連結あり | 広視野測定モード：±(7+0.02L)µm*3 高精度測定モード：±(4+0.02L)µm*4 |
ライトプローブ測定 |
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| 測定可能領域(XY) | 90×90mm |
| 最大測定深さ | 30mm |
| ライトプローブ直径 | ø3mm |
| 測定力 | 0.015N |
| 繰り返し精度 | ±2µm*5 |
| 測定精度 | ±(8+0.02L)µm*6 |
照明系 |
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| 透過 | テレセントリック透過照明 |
| 落射 | 4分割マルチアングル照明(電動) スリットリング(指向性)照明(電動) |
| XYステージ | 移動範囲：100×100mm(電動) |
| Zステージ | 移動範囲：75mm(電動) |
| 耐環境性 | 使用周囲温度： +10～35℃ 使用周囲湿度： 20～80％ RH(結露なきこと) |
*1 ø80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 ø20mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 180×180mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*4 120×120mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*5 検出方法が標準のとき、検出方法が深い位置用のときは±3µm
*6 検出方法が標準、使用周囲温度23℃±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき、検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L)µm Lは測定長(mm)
