株式会社キーエンス
種類 (IM-8030T) |
ヘッド |
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撮像素子 |
1 型 2000 万画素 モノクロCMOS |
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ディスプレイ |
12.1 型 LCD モニター（WXGA：1280x800) |
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画像測定 |
視野 |
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| 広視野測定モード | 300mm × 200mm（4 角R50) |
| 高精度測定モード | 225mm × 125mm |
| 最小表示単位 | 0.1µm |
繰り返し精度 |
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| ステージ移動なし | 広視野測定モード：±1µm 高精度測定モード：±0.5µm |
| ステージ移動あり | 広視野測定モード：±2µm 高精度測定モード：±1.5µm |
測定精度 ±2σ |
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| 連結なし | 広視野測定モード：±3.9µm*1 高精度測定モード：±2µm*3 |
| 連結あり | 広視野測定モード：±(7+0.02L)µm*2 高精度測定モード：±(4+0.02L)µm*4 |
外形測定 |
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| 測定力 | 広視野測定モード：± (2.8+0.02D)um*5 高精度測定モード：± (1.4+0.04D)um*6 |
ライトプローブ測定 |
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| 測定可能領域(XY) | 190×90mm |
| 最大測定深さ | 30mm |
| ライトプローブ直径 | ø3mm |
| 測定力 | 0.015N |
| 繰り返し精度 | ±2µm*7 |
| 測定精度 | ±(8+0.02L)µm*8 |
照明系 |
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| 透過 | テレセントリック透過照明 |
| 落射 | 4分割マルチアングル照明(電動) スリットリング(指向性)照明(電動) |
| XYステージ | 移動範囲：200×100mm(電動) |
| Zステージ | 移動範囲：75mm(電動) |
| 耐環境性 | 使用周囲温度： +10～35℃ 使用周囲湿度： 20～80％ RH(結露なきこと) |
*1 φ 80mm の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃のとき
*2 280mm × 180mm（4 角R40）の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃、ステージ積載重量3kg 以下のとき。L はステージ移動量（mm）
*3 φ 20mm の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃のとき
*4 220mm × 120mm の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃、ステージ積載重量3kg 以下のとき。L はステージ移動量（mm）
*5 L218mm ×φ 60mm の範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度＋ 23 ± 1℃、ＤはY 方向距離（mm）
*6 L206mm ×φ 20mm の範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度＋ 23 ± 1℃、ＤはY 方向距離（mm）
*7 検出方法が標準のとき。検出方法が深い位置用のときは± 3μm
*8 検出方法が標準、使用周囲温度+23 ± 1℃、ステージ積載重量3kg 以下のとき。検出方法が深い位置用のときは±（10+0.02L）μm。L は測定長（mm）
