株式会社 ミツトヨ
駆動方式
| XY軸 | マニュアル |
|---|---|
| Z軸 | 電動、オートフォーカス付き |
光学倍率 |
ズーム0.5×-3.5×(8段階) |
|---|
測定範囲(X×Y×Z) |
400×200×150mm |
|---|
最小表示量/測長ユニット |
0.1µm/リニアエンコーダ |
|---|
カメラ |
カラーCCD(1/3形) |
|---|
測定精度
| E1XY軸 | (2.5+20L/1000)µm |
|---|---|
| E1Z軸 | (5.0+6L/1000)µm |
株式会社 ミツトヨ
| XY軸 | マニュアル |
|---|---|
| Z軸 | 電動、オートフォーカス付き |
光学倍率 |
ズーム0.5×-3.5×(8段階) |
|---|
測定範囲(X×Y×Z) |
400×200×150mm |
|---|
最小表示量/測長ユニット |
0.1µm/リニアエンコーダ |
|---|
カメラ |
カラーCCD(1/3形) |
|---|
| E1XY軸 | (2.5+20L/1000)µm |
|---|---|
| E1Z軸 | (5.0+6L/1000)µm |
